超高純度ガス精製フィルター

超高純度ガス精製器ファインピュアラー　＜大阪ガスリキッド社製＞

Heガス不足が相当長引いていて、お困りのユーザー様が多くいらっしゃいます。
低グレードガスを精製してグレードアップし、従来通りの高精度な結果を得る技法。
ここでご紹介するガス精製フィルターは、複数の触媒および吸着剤の組み合わせにより、簡単・低コストでppbレベルの超高純度ガスが得られる優れものです。
このガス精製フィルターをGCMSにインラインで用いて、低グレードのHeガスを適用することも可能です。

デモについてはお気軽にお問合せください。

その１　多種類の不活性ガスに加え、水素用　酸素用も対応している

精製対象ガスは、不活性ガス・水素用・酸素用など様々なガスで利用可能。毎分3リットルから300リットルまでのラインナップ

その2　他社製品にない耐圧と高流量仕様

製品によっては、最大流量なんと300NL/min、耐圧これまたなんと0.98MPaG。微量高感度分析計から生産用装置まで対応できるラインナップ。

その3　他社製品に比べ寿命が長い

複数触媒と化学吸着剤の組合せで長寿命。規格内使用であれば、ほぼ半永久的に交換不要。
尚、精製能力が低減した場合には中身の再生が可能。

その4　インライン方式なので場所を取らない

既存のガス設備に取り付けるだけで使用可能です。新開発の触媒の利用で、さらなるコンパクト化を実現。

超高純度ガスをお手軽に安定供給

微量分析装置のキャリアガス、ゼロガス、溶接用防爆シールドガス、各種半導体製造装置、CVD装置など、高純度を要求される雰囲気ガス、パージガス。
超精密加工技術を支える基盤として重要なさまざまな高純度ガスを手軽なインライン方式機器により、
不活性ガス（アルゴン、窒素etc…）、酸素（O2）、水素（H2）の不純物成分を除去し超高純度に精製することができます。

アイディア製作所では、お客様のご使用装置に合わせた接続方法をご提案します。

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